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低溫真空等離子體表面處理儀可實現對材料整體和局部以及復雜結構的清洗、活化、改性、蝕刻等，最大的特點是不論材料的形狀和類型，如塑料、玻璃、陶瓷、金屬等都能進行處理。利用等離子體處理技術可以改善材料的親水性、浸潤性、黏結性、印染性等。

低溫等離子體表面處理儀中內置兩個極板，可以形成內置電場，利用真空泵將設備腔內形成真空環境，隨著真空度的增加，氣體越來越稀薄，此時分子間距和分子自由運動的長度會變大，由于受到電場的作用力，分子間發生碰撞并形成等離子體。

等離子體作用后材料表面主要發生4種物理化學變化：(1)產生自由基：放電空間活性粒子撞擊材料表面使表面分子間化學鍵被打開從而產生大分子自由基，使材料表面具有反應活性。(2)發生表面刻蝕：材料表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大工件的比表面積，表面形狀發生變化；(3)發生表面交聯：材料表面的自由基之間重新結合，形成一層致密的網狀交聯層；(4)引入極性基團：表面的自由基與設備放電空間的反應性活性粒子結合從而引入具有較強反應活性的極性基團。