Mar. 28, 2024
等離子清洗機清洗的效果主要與基礎壓力、放電功率、工藝氣體種類、工藝氣體流量、放電時間及工件材料等諸多因素有關，并與清洗工藝息息相關。
等離子清洗機清洗效果好壞與其清洗工藝參數息息相關，清洗工藝參數的設定將直接作用在整個清洗工藝流程中，而其大小、長短等在清洗過程中所體現的作用是不同的，主要的工藝參數及其簡單含義說明如下：
（1）基礎壓力：真空抽到某一值并開始充入工藝氣體時的壓力值，其大小將影響動態平衡及放電清洗時工作腔內的壓力大小。基礎壓力越大，工作腔內壓力越大，容易導致匹配難或能量損失，反之亦然。基礎壓力設定一般在20pa～60pa之間。
（2）放電功率：功率越大，激發的等離子體能量越大。但是能量過大容易導致材料表面損傷，能量過小則清洗效果不明顯。
（3）工藝氣體種類：不同的工藝氣體種類所激發的等離子的性能是不同的，需要根據被清洗材料選擇不同的工藝氣體。
（4）工藝氣體流量：工藝氣體流量越大，激發的等離子濃度越大，但流量變大容易導致激發困難及離子能量變小。
（5）輝光放電時間：放電時間即等離子作用于材料表面時間，時間短清洗效果不理想，時間長則容易損傷材料表面。
綜上所述，不同的工藝參數設定直接影響等離子清洗機的清洗效果，應根據清洗材料的材質設定合適的工藝參數。
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