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在等離子清洗機在使用中,會遇到清洗達不到要求、設備本身故障率異常等問題。如何保證等離子清洗機在生產中能夠達到工藝要求,同時保證設備的正常穩定運行,等離子清洗機的維護保養至關重要。以下介紹了等離子清洗機幾個關鍵部位如何進行保養維護的方法。

等離子清洗腔體清潔

等離子清洗時產生的污物大部分都接近電子級別,會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”,腔底掉落更嚴重。

對于腔壁用不可掉落的毛刷清潔使顆粒粉塵異物在腔壁脫落,用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，（不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃）。其次腔體導入N2和O2,用等離子體清洗腔體內殘余物,工作10min。

定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時，則添加到油紅標線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當油出現渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時更換真空油。

檢查輸氣管道的完整性及真空密封性

使用氣體質量流量控制器對機臺氣體質量流量控制器進行測量,并參照檢測值校正機臺氣體質量流量控制器。也可參照同腔體真空度檢查(參考測試),關閉總閥之后檢查顯示氣體管道通道壓力數值,如果發現數值有變化,用肥皂水噴在氣體管道接口處觀察,如有氣泡出現,重新更換接頭恢復正常。

定期檢查反應腔體門密封條是不是松動，檢查各管路是否連接緊固，老化等問題，如有問題及時更換。

等離子清洗機定期保養計劃

等離子清洗機的三大條件是真空環境(真空機組,真空檢測儀,腔體的密閉)、高能量(射頻電源、工藝氣體)和介質(腔體、電極)組成。那么等離子清洗機的保養應從以上這些方面進行,根據保養項目劃分周期分為每日、每周、每月、半年、每年、2~3年,見表1。

表1  等離子清洗機保養周期及內容和方法

在實際生產過程中,影響等離子清洗效果的不僅僅是工藝技術,還有設備的穩定性,比如工藝氣體的微小泄露、電極托板架的烴基殘留物、腔體內其他管道的氧化程度以及設備本身不同程度的故障這些都是在清洗過程中直接對清洗效果產生影響。因此,做好等離子清洗機維護保養非常必要。