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等離子體是通過電離氣體產生的中性離子、電子、光子組成的活性物質，能夠誘導不同物理現象和化學反應。等離子體是第四種物質狀態，在實驗室條件下可以通過將外部能量源施加到中性氣體中產生，即氣體變得導電。在等離子體形成過程中，產生大量的離子和電子，正粒子和負粒子之間的總體比例使得產生的等離子體被認為是中性的。根據電子與離子是否處于熱平衡狀態，等離子體可分為熱等離子體和非熱等離子體，熱等離子體是電子與離子處于相同溫度的等離子體，需要較長時間達到熱平衡。另一方面，非熱等離子體，也稱為低溫等離子體，其特征在于電子的溫度高于接近室溫。

等離子表面處理機溫度有多高？

等離子表面處理機所運用的就是低溫等離子技術，其處理溫度接近室溫。一般來說等離子表面處理機根據產生等離子體的氣壓不同，分為常壓和真空兩大類。其中真空等離子表面處理機的溫度范圍一般在30-100℃之間，常壓等離子表面處理機的溫度范圍在60-200℃的范圍之間。

等離子表面處理機的溫度并不是一成不變，會隨著工藝參數的變化而變化，下面是關于影響等離子表面處理機溫度的關鍵因素。

常壓等離子表面處理機的處理溫度影響因素

等離子體產生的本質來自電子被電場或磁場激發出原子核外層，并伴隨大量的熱量產生，在作用于高分子材料表面改性的同時，其熱效應同樣不可忽視。通過紅外測溫儀測試了等離子體氣流作用至材料表面時的恒定溫度，并將此溫度作為等離子體氣流的溫度。等離子體氣流溫度與工作距離、氣壓的關系如圖1所示。隨氣流氣壓升高，等離子體氣流溫度降低。根據帕邢定律，氣壓升高后氣體的擊穿電壓增大，而等離子體設備輸入電壓恒定，故產生的等離子體量減少，等離子體濃度降低，因而溫度降低。另外，隨工作距離增大，等離子體氣流溫度降低。等離子體流中的各種成分在向樣板傳輸過程中會不斷劇烈運動，彼此碰撞而導致電子與離子重新結合，等離子體濃度降低，進而溫度降低。

圖1等離子表面處理氣流溫度與工作距離以及氣壓的關系

除此之外常壓等離子表面處理機的處理溫度，還與處理速度有關，處理速度越快，表面的溫度相對就會越低。

真空式等離子表面處理機的溫度影響因素

在等離子表面處理過程中,被處理件在離子的物理轟擊作用下,溫度會逐漸升高,溫度通常與射頻功率、頻率、充氣速率和處理時間等相關。

處理時間

隨著處理時間的增加，處理溫度會有所增加，隨著處理時間的延長，之后溫度穩定在這個水平不再升高。

下圖2為等離子表面處理時間與溫度的關系

處理功率

連續的高功率等離子體處理會產生一定的熱效應,從而增加設備的處理溫度。

了解等離子表面處理機的溫度，對于客戶判斷自己的材料是否適合等離子處理有一定的幫助，因為有些材料處理溫度過高會變形變色熱損傷，導致工件廢件。不同溫度下的處理效果也不盡相同，有些材料溫度高處理效果反而越好。等離子表面處理機的溫度也是影響處理效果的一個重要參數，等離子表面處理機也可以通過加溫，和降溫來實現對溫度的控制。