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等離子清洗機是一種利用氣體電離產生等離子體來對材料表面進行清洗活化改性的設備，其屬于干法清洗的一種，等離子清洗與傳統濕法清洗相比,不需要使用大量的酸、堿、有機溶劑等,不會給環境帶來任何污染,有利于環保和人員安全,同時該清洗技術的均勻性、重復性和可控性非常好,具有三維處理能力,并對清洗材料的種類沒有限制。

任何事物都具有兩重性，同樣在了解等離子清洗機的優點的同時，還應了解它的不足及使用中存在的缺點。等離子清洗機在應用中確實存在一些制約因素。

等離子清洗機缺點主要表現在以下幾點：

1、等離子清洗機一個明顯缺點就是經過等離子清洗的產品會有時效性，等離子清洗后的材料或產品，對材料改性的效果并不持久，隨著時間的推移，部分處理效果會逐漸失去，這種現象稱為等離子清洗的時效性或者老化。例如剛剛等離子清洗完的產品表面親水性能很好，但隨著時間的推移，慢慢產品表面又開始變得疏水。因此對于時效有要求的工藝，在選擇等離子清洗機時要充分考慮這個因素。因此我們一般都會建議客戶對使用完等離子清洗后的產品盡快進行下一道工藝，無論是粘接，還是印刷涂層等，避免時效的影響。在等離子清洗完立馬進行下一道工藝，是不會對后續（如粘接）的效果造成影響的。

2、等離子清洗機不是什么東西都能清洗，等離子清洗是一種微觀層面的清洗，清洗的程度僅僅是納米級到微米級之間，并不能完全替代傳統的濕法清洗，等離子清洗適合清洗有機物、氧化物和微小顆粒，等離子清洗對于去除表面有機物缺陷作用尤其明顯，對于灰塵、大顆粒的無機污染物，等離子清洗只能望塵莫及。

例如不能用這種方法除去物體表面的切削粉末，其次在應用過程中還發現不能用等離子體清洗很好地除去物體表面黏附的指紋，而指紋是玻璃光學元件上常出現的一種污染物。等離子體清洗也不是完全不能用于除去指紋，但這需要延長處理時間，這時又不得不考慮到這時它會對基材的性能造成不良的影響。所以還需要采用其他清洗措施進行預處理相配合。

3、采用等離子清洗機的一個缺點是清洗的工藝復雜，控制不當會使產品造成損傷。高能粒子，濺射清洗期間作為等離子的產物，可能導致在器件絕緣體(氧化物和氮化物)中形成電子空穴對，器件的電性能可能因此發生變化。樣品在射頻場中或在強烈的等離子體中可能被損壞，這需要關注。損壞的證據是不確定的，而且看來損壞僅發生在非常高的射頻功率且重復和延長周期達到60~120分鐘。通常在較短時間的清洗步驟期間，我們不會遇到這樣的條件。

4、在使用氧氣等離子進行清洗的場合，需要注意產品是否不能被氧化，氧氣等離子清洗的致命缺點是清洗完的器件容易生成新的氧化物，變成二次污染。

以上就是關于等離子清洗機缺點的一些介紹，在選擇等離子清洗這個工藝之前充分了解等離子清洗的缺點，對于等離子清洗工藝能否滿足客戶的技術要求有一定幫助。目前等離子清洗技術廣泛應用在電子行業（主要是半導體和光電工業）、橡膠、塑料、汽車及國防等領域。在半導體制造業中，等離子清洗技術已經成為不可或缺的手段，其主要作用是能夠有效提高半導體元器件在生產制造過程中表面的潔凈度，且活化表面，提高產品的可靠性。這些充分證明缺點并不足以掩蓋等離子清洗的優點，未來等離子清洗機作為環保的干式處理設備，一定會得到更加大量的運用。