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低壓真空等離子設備

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工業真空等離子清洗機（射頻）

真空等離子清洗機作為一種精密干法清洗設備，適用于混合集成電路、單片集成電路管殼和陶瓷基板的清洗；可應用于半導體、厚膜電路、元器件封裝前、硅片刻蝕后、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗，可去除材料表面的油脂、油污等有機物及氧化層。還可應用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

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電感耦合真空等離子清洗機NE-Q15 NE-Q15電感耦合等離子清洗機通過RF射頻電源在石英腔體內感應誘導氣體從而產生高密度等離子體，設備采用高純石英玻璃作為反應腔體，腔體潔凈度高，內部無電極，可以避免電極濺射造成的污染問題。

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真空等離子清洗設備NE-PE80F NE-PE80F真空等離子清洗設備主要由真空腔體、高頻等離子電源、真空產生及測量系統、工藝氣體系統、控制系統等部分組成。等離子清洗的機理正是依靠處于“等離子態”的物質的“活化作用”，達到去除物體表面污漬或改善表面活性的目的。

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